点光源型マイクロ波放電キセノンエキシマランプ Xe Excimer lamp

特徴

  • 高パワー密度172 nm放射光(7.2eV)
  • 低電力マイクロ波放電
  • 長寿命

用途

  • 小面積材料の表面改質/活性化、光CVD

XEL-172-01

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